半導(dǎo)體裝備
主要產(chǎn)品包括刻蝕機(jī)、PVD、ALD、CVD、氧化/擴(kuò)散爐、清洗機(jī)、氣體質(zhì)量流量計(jì)等高端半導(dǎo)體工藝裝備及核心零部件,廣泛應(yīng)用于集成電路、先進(jìn)封裝、半導(dǎo)體照明、微機(jī)電系統(tǒng)、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、新能源光伏、平板顯示等領(lǐng)域,為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。
真空裝備
研發(fā)的真空熱處理裝備、氣氛保護(hù)熱處理裝備、連續(xù)式熱處理裝備、晶體生長裝備、鍍膜裝備在金屬及非金屬材料、真空電子、醫(yī)療、新能源(光伏、汽車、氫能、儲能)、半導(dǎo)體材料、磁性材料等領(lǐng)域取得廣泛應(yīng)用。
精密元器件
持續(xù)推動元器件向小型化、輕量化、高精密方向發(fā)展,研發(fā)的石英晶體器件、石英微機(jī)電傳感器、高精密電阻器、鉭電容器、微波組件、模擬芯片、模塊電源等產(chǎn)品,應(yīng)用于高鐵、智能電網(wǎng)、通信、醫(yī)療電子、精密儀器、自動控制等領(lǐng)域,為客戶打造高端精密電子元器件技術(shù)、產(chǎn)品、服務(wù)一體化的專業(yè)解決方案。